ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 LR421-T

ULVAC愛發(fā)科 多級(jí)羅茨干式真空泵 LR421-T

多級(jí)羅茨干式真空泵是一種在真空室內(nèi)不使用油或液體的機(jī)械真空泵。

在 FPD、電子和半導(dǎo)體行業(yè)等領(lǐng)域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產(chǎn)量和可維護(hù)性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。

通過在低溫范圍內(nèi)平衡泵體的熱量，它是 PVD 工藝抽真空的理想泵，尤其是在制備和取出室中，縮短泵送時(shí)間以提高吞吐量非常重要。

長(zhǎng)處

除了低溫整平（型號(hào)：LR）

PVD 工藝外，它還特別適用于制備室和取出室的排氣，在這些地方，縮短抽氣時(shí)間對(duì)于提高產(chǎn)量很重要。

由于其密封結(jié)構(gòu)，由于其密封

結(jié)構(gòu)，它非常安全。

瞬時(shí)停止：在 1000 毫秒內(nèi)實(shí)施瞬時(shí)停止

措施。

優(yōu)異的耐腐蝕性主要部件采用表面硬度高、耐腐蝕性優(yōu)異的特殊

表面處理。 減少排空腐蝕性氣體時(shí)泵內(nèi)部的腐蝕。

通信功能：

可以讀取泵運(yùn)行狀態(tài)和警告/警報(bào)歷史記錄數(shù)據(jù)。 通過使用軟件和計(jì)算機(jī)通信，可以進(jìn)行集中監(jiān)控。

用

成膜設(shè)備（濺射設(shè)備、氣相沉積設(shè)備等）

減少準(zhǔn)備室和取出室的排氣時(shí)間

作為輔助排氣泵（渦輪分子泵的輔助排氣、機(jī)械增壓泵）

規(guī)范