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HORIBA掘場VG-200S電容壓力計 隔膜真空計北崎供應(yīng)

發(fā)布時間:2025/02/12 11:57:14 發(fā)布廠商:北崎國際貿(mào)易(北京)有限公司 >> 進(jìn)入該公司展臺

HORIBA掘場VG-200S電容壓力計 隔膜真空計北崎供應(yīng)

HORIBA掘場VG-200S電容壓力計 隔膜真空計北崎供應(yīng)

在線壓力測量是許多行業(yè)不可或缺的技術(shù),包括半導(dǎo)體、平板顯示器、光伏板、硬盤和涂層。 電容壓力計通過與對面電極的電容測量由隔膜兩側(cè)(稱為隔膜)之間的壓力差引起的位移量,并將其轉(zhuǎn)換為壓力。 與其他壓力測量方法相比,電容壓力計具有以下特點:

  • *壓力測量
  • 高精度和*的穩(wěn)定性
  • 測量不受氣體類型的影響
    ?

HORIBA 的 VG-200S 電容壓力計是*小的自溫控真空計。 的電極結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了高精度和高穩(wěn)定性。

業(yè)務(wù)領(lǐng)域:?半導(dǎo)體
產(chǎn)品類別:?干法工藝控制
制造商:?HORIBA STEC, Co., Ltd.
  • 自控型和*小級
  • 的電極結(jié)構(gòu)實現(xiàn)了高精度和高穩(wěn)定性
  • SUS316L用于氣體接觸部分,包括隔膜。
  • 不加熱,55°C溫控,可選擇100°C溫控
  • 一推零
  • 電源 ±15 VDC, 24 VDC
  • 符合 CE、RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
VG-211S 系列 VG-221S 系列
F.S. 測量范圍 133.32帕斯 (A) 1.3332 kPa (A)
13.332 kPa (A)
133.32 kPa (A)
133.32帕斯 (A) 1.3332 kPa (A)
13.332 kPa (A)
133.32 kPa (A)
傳感器的溫度控制 *1 室溫(無加熱器) 55°C / 100°C
精度 *2 0.5% R.S. 0.25% R.S. 0.5% R.S. 0.25% R.S.
分辨率 0.03% F.S. 0.01% F.S. 0.03% F.S. 0.01% F.S.
零溫度系數(shù) 0.01% F.S./°C 0.005% F.S./°C 0.005% 滿量程 /°C 0.0025% 滿量程 /°C
跨度溫度系數(shù) 0.05% 讀數(shù)/°C 0.03% 讀數(shù)/°C 0.03% 讀數(shù)/°C 0.02% 讀數(shù) /°C
響應(yīng)時間 < 60 毫秒
工作溫度范圍 *3 10-50°C
氣體接觸材料 SUS316L
加壓極限 300kPA (A) 350kPa (A) 300kPa (A) 350kPa (A)
輸出信號 0-10VDC 負(fù)載電阻:>10kΩ
輸入/輸出連接器 D-Sub 15 針
電源電壓 +15VDC±5%、* 0.1A -15VDC±5%、* 0.1A +15VDC±5%,* 0.6A。 -15VDC±5%,* 0.6A。
24VDC±5%,* 2.4W 24VDC±5%,* 22W
預(yù)熱時間 15 分鐘 60 分鐘(55°C 溫控型) 120
分鐘(100°C 溫控型)
集電極開路輸出 額定電壓:30V 額定電流:50mA
重新歸零輸入 無電壓觸點輸入 觸點開路電壓:13V *觸點電流:1.3mA
標(biāo)準(zhǔn)配件 *4 KF16, 1/2 英寸 VCR 母頭, ICF34, 1/4 英寸 VCR 母頭
可滾動

*1 請在訂購時溫度控制類型和溫度。
*2 包括線性度、滯后性和重現(xiàn)性。 (環(huán)境溫度為 25°C 時)
*3 如果產(chǎn)品周圍有熱源,或者多個產(chǎn)品非常接近,則環(huán)境溫度可能會過規(guī)定的環(huán)境溫度。
*4 請在訂購時配件。

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HORIBA掘場VG-200S電容壓力計 隔膜真空計北崎供應(yīng)

HORIBA掘場
VG-200S
電容壓力計 隔膜真空計
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