進(jìn)口供應(yīng)ENTEGRIS恩特格里斯 Wafergard® 1.5“ W-Seal 迷你集成氣體過(guò)濾器

進(jìn)口供應(yīng)ENTEGRIS恩特格里斯 Wafergard® 1.5“ W-Seal 迷你集成氣體過(guò)濾器

Wafergard® SL 1.5“ W 型密封集成氣體過(guò)濾器
Wafergard® 1.5“ W-Seal 迷你集成氣體過(guò)濾器是業(yè)界*別的集成氣體過(guò)濾器。
過(guò)濾/保護(hù)回流氣體
確保輔助設(shè)備的清潔度
可選擇鎳或不銹鋼膜
優(yōu)異的耐腐蝕性
應(yīng)用Wafergard® SL 1.5“ W-Seal 集成氣體過(guò)濾器應(yīng)用高純度氣體管線
高溫應(yīng)用
壓力波動(dòng)的應(yīng)用
用于惰性氣體、氫化物氣體和 CO 氣體的不銹鋼過(guò)濾器，以及用于惰性和高反應(yīng)性氣體的鎳過(guò)濾器
產(chǎn)品規(guī)格
材料： 濾波器 316L 不銹鋼或鎳 
  外殼
底座塊
端蓋 低硫 316L 不銹鋼 
粒子捕獲速率： 鎳過(guò)濾器 大于 0.003 μm 的顆粒，99.9999999% 或更高（60L/min@20°C，101 kPa） 
  不銹鋼過(guò)濾器 大于 0.003 μm（5 L/min@20°C，101 kPa）的顆?！?9.9999999% 大于 0.003 μm（30 L/min@20°C，101 k≥
Pa）的顆粒 
顆粒清潔度：   0.01 μm 或更大的顆粒為 0.03 pcs/L 或更低 
使用條款： *工作壓力 0.97 MPa 
  *允許正壓差/反向壓差 0.97 MPa 
  *工作溫度 400°C （惰性氣體） 
內(nèi)表面粗糙度：   Ra < 0.17 μm 
He 泄漏箱：   < 1 x 10-10 帕米3/秒