HORIBA掘場EV 2.0 等離子體排放監(jiān)測器北崎國際

2025/02/12 13:54:16

在半導體制造工藝中，等離子體技術用于各種制造工藝，包括薄膜沉積和蝕刻。
它是一種等離子體發(fā)光監(jiān)測器，可用于從各種等離子室的研發(fā)到生產(chǎn)線的廣泛應用，例如過程終點檢測、狀態(tài)管理和等離子體診斷。
從高分辨率、寬范圍和小尺寸三種新開發(fā)的型號中，可以根據(jù)用途選擇*規(guī)格。此外，分析軟件可以滿足廣泛的需求，例如從血漿中的微小信號變化中檢測的終點，以及血漿過程的異常監(jiān)測。

業(yè)務領域：半導體

產(chǎn)品類別：干法工藝控制

制造商： HORIBA France SAS

3 種型號可供選擇，以滿足您的應用需求
可直接安裝在工藝室的窗口上
高度*化的軟件支持從研發(fā)到大規(guī)模生產(chǎn)的廣泛應用。
一臺 PC 可以同時測量多達 6 個腔室（6 個等離子體發(fā)射監(jiān)測

器）。

型	高分辨率 EV2.0 HR	寬范圍型 EV2.0 STD	小型 EV2.0 LR
測量波長范圍	300 - 800 納米	200 - 1050 納米	300 - 900 納米
焦距	75 毫米	75 毫米	20 毫米
波長分辨率	1 納米	2.5 納米	6.5 納米
探測器	薄型背照式 CCD 圖像傳感器（元件數(shù)：2048 x 16）
傳感器單元尺寸	105 x 135 x 135 毫米	105 x 135 x 135 毫米	70 x 135 x 125 毫米
傳感器單元重量	850 克	850 克	610 克
傳感器單元電源規(guī)格	直流 24V	直流 24V	直流 24V
應用程序	Sigma-P、配方設計師2.0

可滾動

* 傳感器單元和 PC 配有 AC100V 電源。
* 有關光纖、腔室適配器、多通道 PC 和其他規(guī)格，請聯(lián)系我們。

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