ULVAC愛發(fā)科螺桿式干式真空泵 MS1200A

2025/06/12 16:08:37

螺桿式真空泵是將流體導(dǎo)入泵殼內(nèi)部嚙合的螺桿轉(zhuǎn)子之間的間隙，通過旋轉(zhuǎn)使流體沿軸向連續(xù)移動(dòng)的真空泵。

螺桿式干式真空泵由兩個(gè)平行的螺桿轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子與殼體內(nèi)壁之間以及轉(zhuǎn)子之間保持微小間隙，轉(zhuǎn)子與殼體之間形成的空間沿軸向連續(xù)移動(dòng)。氣體從進(jìn)氣口吸入該空間，并在被送往排氣側(cè)的過程中通過壓縮和移動(dòng)而被排出。螺桿轉(zhuǎn)子有矩形、螺旋形和萊斯霍爾姆型。

特征

通過對(duì)轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊的表面處理，實(shí)現(xiàn)了高耐腐蝕性。
螺旋式轉(zhuǎn)子軸采用的 ULVAC 設(shè)計(jì)，可提供高粉末排放性能。
從大氣壓到極限壓力的整個(gè)壓力范圍內(nèi)均可連續(xù)運(yùn)行。

目的

真空排氣系統(tǒng)
蝕刻設(shè)備、灰化設(shè)備、電子零件等離子清洗設(shè)備、半導(dǎo)體制造設(shè)備等。
真空熱處理爐、
燒結(jié)爐、滲碳爐等真空排氣系統(tǒng)。
鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)
、電極干燥設(shè)備、脫氣設(shè)備、注液設(shè)備等。
醫(yī)療及食品相關(guān)設(shè)備、
冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等的真空排氣系統(tǒng)。

*MS1200A 可提供其他控制板和傳感器規(guī)格。詳情請(qǐng)聯(lián)系我們。

規(guī)格

模型		MS120A	MS600A	MS1200A
抽速1	立方米/^小時(shí)	115	560	980
極限壓力	爸爸	≦0.6	<=0.1
電源電壓		三相，50/60Hz，AC200-240V±10%或三相，50/60Hz，AC380-480V±10%
大約功耗*2	千瓦	2.4	3.1	3.1
冷卻水量	升/分鐘	>4.0
吹掃氣體量*1	空間光調(diào)制器	0~50
水蒸氣處理量 1*3	公斤/小時(shí)	1.5
噪音等級(jí)*2	分貝(A)	61	62	64
進(jìn)氣口		KF50（臥式）/VG50（立式）	ISO-F-80	ISO-F-100
排氣口		KF40
質(zhì)量*4	公斤	139	241	264
合規(guī)標(biāo)準(zhǔn)		CE、cTUVus
標(biāo)準(zhǔn)配件		快速手冊(cè)、電源連接器、防水線夾、信號(hào)連接器、電源連接器保護(hù)罩、消音器套裝
主機(jī)選項(xiàng)		電源電壓：200V或400V級(jí) 密封材料：氟橡膠（FKM）或全氟彈性體（FFKM）
外部選項(xiàng)		外殼排氣口、抗震固定支架、LR兼容單元（進(jìn)氣口、信號(hào)）、吹掃氣閥

*1：代表值
*2：極限壓力
*3：使用吹掃氣體時(shí)的*水蒸氣吞吐量。
*4：包括消音器

ZSP6210-001G-120...

YN194E-9CY綜合電力質(zhì)量...

ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵 MS1200A

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