HORIBA掘場CS-1000 化學品監(jiān)控器北崎國際

2025/02/12 13:58:55

化學溶液中所含的 ppm 水平※2無需預處理即可檢測痕量成分。一體化系統集成在一個單獨的機柜中，只需安裝在車間即可使用※3。

*1 后端生產線的縮寫，指的是半導體前端
工藝的布線形成過程*2 以 1/1,000,000 為單位的比率的概念。對于液體成分，1 ppm 意味著 1 公斤液體中含有 1 毫克目標成分。
*3 SEMI S2

可以檢測到 ppm 級的痕量成分

除了提高分光光度計的性能（擴長范圍和提高分辨率）外，現在還可以通過結合 pH 計和電導率計的信號進行處理來檢測 ppm 級的痕量成分。

可以同時測量兩種不同類型的化學品

儀器內部固定了兩個樣品流路。通過完全分離流路，可以同時測量兩種不同類型的化學品。

每半年一次，維護 4 小時

使用具有自動校準功能的 pH 計。維護就像更換吸光度計的燈和更換 pH 計的內部液體和校準溶液瓶一樣簡單。

產品名稱	化學品監(jiān)控系統
型	CS-1000 型
測量項目	化學濃度、電導率、pH 值
測量原理	吸收光譜、雙極導電、玻璃電極
目標化學品	半導體制造工藝中使用的多組分化學品（詳情請聯系我們）
外形尺寸	700 （W） × 610 （D） × 1640 （H） mm（不包括突出部分）
質量	約 200 公斤
接液材料	柜式（PFA、PTFE）分光光度計（PFA、PTFE、石英、Kalrez?）電導率儀（PFA、碳、Kalrez?） pH 計 - 排水（PVC、PTFE、玻璃、ETFE、PEEK、烯烴樹脂、THV、PFA、 Kalrez?， PharMed BPT） *Karlez? 是 DuPont de Nemours， Inc. 的商標。
標準	CE ， KC ， FCC 規(guī)則 Part15 ， UKCA ， SEMI S2

可滾動

環(huán)境溫度	20~30 °C（室溫無突然變化，±0.5 °C/1 小時以內）
環(huán)境濕度	40~70%RH （無冷凝）
權力	AC 190~240V（單相），50/60Hz
功耗	約 355 VA（不包括啟動時的瞬態(tài)電流）
通信	模擬輸出：4-20mA，串行輸入/輸出：RS-485 Modbus（RTU），并行輸入/輸出 * 但是，當測量值未更新時，例如設備異常時，它固定為 1.5mA。

可滾動

消耗品	由客戶或我們的服務工程師更換零件鹵素燈（使用壽命約 1 年）氘燈（使用壽命約半年）試劑 pH 4（符合 JIS 標準）、pH 7（符合 JIS）、KCl（3.33 moL AgCl 飽和液體）（更換周期：約半年）

可滾動