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HORIBA掘場CS-900 非接觸式化學品濃度監(jiān)測器北崎國際
2025/02/12 14:03:01
HORIBA掘場CS-900 非接觸式化學品濃度監(jiān)測器北崎國際
HORIBA掘場CS-900 非接觸式化學品濃度監(jiān)測器北崎國際
這是一款非接觸式化學品濃度監(jiān)測器,可測量半導體制造過程中使用的化學品,例如清潔和蝕刻。
通過不接觸管道中流動的化學液體進行測量,可以安全、穩(wěn)定地監(jiān)測濃度,而不會發(fā)生化學泄漏或污染。
產(chǎn)品名稱 | 非接觸式化學品濃度監(jiān)測儀 CS-900 | ||||
---|---|---|---|---|---|
型 | CS-900 型 | ||||
測量原理 | 吸收光譜 | ||||
濃度計算方法 | 溫度補償多變量分析方法 | ||||
測量范圍和 再現(xiàn)性系統(tǒng) (單位:質(zhì)量%) |
型號名稱 | 成分名稱 | 測量范圍 | 重復(fù)精度 | 模擬輸出范圍 |
CS-900-1P-1P25P5 系列 | 新罕布什爾州3 | 0.00%-1.20% | ±0.05% | 0.00-10.00 | |
H2O2 | 0.00%-5.50% | ±0.10% | 0.00-10.00 | ||
H2O | 93.3%-100.0% | ±1.0% | - | ||
CS-900-1P-P8P8 | 新罕布什爾州3 | 0.20%-0.80% | ±0.03% | 0.00-1.00 | |
H2O2 | 0.20%-0.80% | ±0.03% | 0.00-1.00 | ||
H2O | 98.4%-99.6% | ±0.3% | - | ||
測量條件 |
1) 測量周期:約 3 秒 2) 移動平均:16 次 |
||||
管道※1 | 1“ 或 3/4” PFA 管道 | ||||
樣品液體條件※2 |
化學溫度:20~80°C 化學 溫度變化、環(huán)境溫度變化±1°C(1小時)以內(nèi) 輸入 壓力:0.2MPa(G)以下 壓力變化:0.02MPa以下 |
||||
權(quán)力 | DC24V 直流 | ||||
功耗※3 | 約 30W | ||||
質(zhì)量 |
顯示:約 0.9Kg 傳感器 單元:約 2.9Kg |
||||
尺寸(寬×深×高) |
指示器:96×135×96 mm 傳感器單元※4尺寸:238×140×146 毫米 |
||||
傳感器單元安裝角度 | 前后方向:±3 度以內(nèi),左右方向:0~90 度 | ||||
光源壽命 | 5 年 | ||||
通信協(xié)調(diào) | 并行 I/O、RS-232C、模擬輸出 |
※1不允許使用防靜電型。
※2如果樣品液體不流動,則由于氣泡的影響,可能無法正確測量。
※3不包括啟動期間的瞬態(tài)電流。
※4不包括突起。
![HORIBA掘場CS-900 非接觸式化學品濃度監(jiān)測器北崎國際](http://img.testmart.cn/Uploads/image/20250212/20250212140241_96676.png)