日本HORIBA堀場SEC-Z500X數(shù)字質(zhì)量流量控制器
它是一款多功能型數(shù)字質(zhì)量流量控制器，適用于各種行業(yè)和應(yīng)用，具有從 10 SCCM 到 1000 SLM 的廣泛流量控制范圍，并可選擇從數(shù)字到模擬、DeviceNet?、CC-Link®、PROFIBUS? 和 EtherCAT® 的通信方法。 它還具有 ± 1.0% SP 的高精度、1 秒內(nèi)的全范圍高速響應(yīng)以及多量程/多氣體功能。
配備了允許用戶更改氣體類型和流量范圍的功能。
± 1.0% S.P. 的高精度，滿量程 1 秒內(nèi)快速響應(yīng)，5 SCCM 至 500 SLM 的寬范圍。 通信方式可從數(shù)字/模擬、DeviceNet? 和 EtherCAT® 通信中選擇。 它是一種質(zhì)量流量控制器，不僅適用于高級工藝，也適用于各種制造工藝。
數(shù)字通信
?RS-485 F-Net 協(xié)議
模擬通信
?0~5VDC 直流
CC-Link® 通信
模擬通信
?0~5VDC 0~10VDC
?4~20mA
Profibus 通信
模擬通信
?0~5VDC 0~10VDC
?4~20mA
Profibus 標(biāo)準(zhǔn)
24伏直流（13~32VDC）
EtherCAT 標(biāo)準(zhǔn)
24VDC +/-4V
通信方式
驅(qū)動電源
產(chǎn)品類型
±15VDC（±5%）※
SEC-N102 系列
DeviceNet 設(shè)備網(wǎng)TM通信
ODVA 標(biāo)準(zhǔn)
SEC-N104 系列
24伏直流（13~32VDC）
SEC-N105 系列
SEC-N106 系列
EtherCAT® 通信
SEC-N107 系列
